iQubiq

1.

生産仕様 （お客様の様々な成膜対象部材に適合した装置をデザインします）

		S	M	L	LL	SS-DLC-2
真空チャンバー形状		角型	円筒型	円筒型	角型	角型
真空チャンバーサイズ(mm)		300X300X300	550ØX600H	750ØX1200H	ex. 1500X1200X1500 （2基搭載可）	ex. 1500X1200X1500 （2基搭載可）
パルスピーク電力		10kWp	30kWp	60kWp	60kWp～	60kWp～
生産技術仕様					量産向き	量産向き
	真空ポンプ種別*1	TMP+RP	TMP+DP+RP ポンプ切替（OP）	TMP+DP+RP+メカブポンプ切替（OP）	TMP+DP+RP+メカブポンプ切替（OP）	ポンプ切替（OP）
	制御系	全自動	全自動	全自動	全自動	全自動
	導入ガス系統	標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統)	標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統)	標準6系統*2 ＋2系統追加可 (最大8系統)	8系統＋α	8系統＋α
特別仕様						・微細粒子トラップ電源・余剰電子収集電源・重畳用直流電源・逆極性電源(スクリーニング)
外観写真			写真1			写真2

*1：

TMP：ターボ分子ポンプ、RP：ロータリーポンプ、DP：拡散ポンプ、メカブ：メカニカル・ブースター・ポンプ

*2：

標準ガス【6種】：　Ar、TMS、C2H2、H2、O2、N2

2.

生産仕様・研究仕様 （標準的な生産を行う排気／成膜方式）

*1：

TMP：ターボ分子ポンプ、RP：ロータリーポンプ、DP：拡散ポンプ、メカブ：メカニカル・ブースター・ポンプ

*2：

標準ガス【6種】：　Ar、TMS、C2H2、H2、O2、N2

3.

実験仕様 （エントリーモデル）

*1：

RP：ロータリーポンプ、DP：拡散ポンプ

*2：

標準ガス【3種】：　Ar、TMS、C2H2、+1系統